稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2002年
6期
416-419
,共4页
定向凝固%多晶硅锭%显微缺陷
定嚮凝固%多晶硅錠%顯微缺陷
정향응고%다정규정%현미결함
研究了采用定向凝固法制备多晶硅锭的凝固速率与表面形貌、晶粒尺寸以及显微组织缺陷的关系. 找出了晶锭不出现细晶的临界生长速度, 并对固液界面形状进行了探讨. 多晶硅锭的制备工艺主要包括定向凝固法及浇铸法. 采用定向凝固法制备多晶硅锭, 通过改变降埚速率控制晶体生长速度, 进而找出晶粒大小与降埚速率的关系; 同时通过改变石英坩埚、石墨托厚度, 冷源半径等几何参数来达到控制固-液界面形状的目的.
研究瞭採用定嚮凝固法製備多晶硅錠的凝固速率與錶麵形貌、晶粒呎吋以及顯微組織缺陷的關繫. 找齣瞭晶錠不齣現細晶的臨界生長速度, 併對固液界麵形狀進行瞭探討. 多晶硅錠的製備工藝主要包括定嚮凝固法及澆鑄法. 採用定嚮凝固法製備多晶硅錠, 通過改變降堝速率控製晶體生長速度, 進而找齣晶粒大小與降堝速率的關繫; 同時通過改變石英坩堝、石墨託厚度, 冷源半徑等幾何參數來達到控製固-液界麵形狀的目的.
연구료채용정향응고법제비다정규정적응고속솔여표면형모、정립척촌이급현미조직결함적관계. 조출료정정불출현세정적림계생장속도, 병대고액계면형상진행료탐토. 다정규정적제비공예주요포괄정향응고법급요주법. 채용정향응고법제비다정규정, 통과개변강과속솔공제정체생장속도, 진이조출정립대소여강과속솔적관계; 동시통과개변석영감과、석묵탁후도, 랭원반경등궤하삼수래체도공제고-액계면형상적목적.
