中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2004年
12期
1469-1472
,共4页
袁景梅%汤兆胜%易葵%邵建达%范正修
袁景梅%湯兆勝%易葵%邵建達%範正脩
원경매%탕조성%역규%소건체%범정수
薄膜%折射率%消光系数%吸收系数
薄膜%摺射率%消光繫數%吸收繫數
박막%절사솔%소광계수%흡수계수
由单层HfO2,SiO2,Y2O3,Al2O3膜求出其折射率和消光系数色散曲线,据此计算出HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2,Al2O3/SiO2的193 nm多层膜反射膜曲线,并用电子束热蒸发的方法进行镀制.由分光光度计测量样品的透射率和绝对反射率,求出了各种膜层的吸收曲线.结果发现HfO2/SiO2,Al2O3/SiO2反射率实验结果与理论结果吻合得很好,而Y2O3/SiO2的理论曲线偏高.通过模拟Y2O3/SiO2的反射率曲线发现Y2O3的消光系数远大于由单层膜实验得出的结果.这说明Y2O3膜层的吸收特性与薄膜的制备工艺密切相关.
由單層HfO2,SiO2,Y2O3,Al2O3膜求齣其摺射率和消光繫數色散麯線,據此計算齣HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2,Al2O3/SiO2的193 nm多層膜反射膜麯線,併用電子束熱蒸髮的方法進行鍍製.由分光光度計測量樣品的透射率和絕對反射率,求齣瞭各種膜層的吸收麯線.結果髮現HfO2/SiO2,Al2O3/SiO2反射率實驗結果與理論結果吻閤得很好,而Y2O3/SiO2的理論麯線偏高.通過模擬Y2O3/SiO2的反射率麯線髮現Y2O3的消光繫數遠大于由單層膜實驗得齣的結果.這說明Y2O3膜層的吸收特性與薄膜的製備工藝密切相關.
유단층HfO2,SiO2,Y2O3,Al2O3막구출기절사솔화소광계수색산곡선,거차계산출HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2,Al2O3/SiO2적193 nm다층막반사막곡선,병용전자속열증발적방법진행도제.유분광광도계측량양품적투사솔화절대반사솔,구출료각충막층적흡수곡선.결과발현HfO2/SiO2,Al2O3/SiO2반사솔실험결과여이론결과문합득흔호,이Y2O3/SiO2적이론곡선편고.통과모의Y2O3/SiO2적반사솔곡선발현Y2O3적소광계수원대우유단층막실험득출적결과.저설명Y2O3막층적흡수특성여박막적제비공예밀절상관.
