红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2008年
1期
35-38,71
,共5页
万尤宝%吴宇容%张建新%杨培志%袁国祥%吕敏%杨辉
萬尤寶%吳宇容%張建新%楊培誌%袁國祥%呂敏%楊輝
만우보%오우용%장건신%양배지%원국상%려민%양휘
铁电薄膜%晶粒%种膜%液相外延%焦绿石相
鐵電薄膜%晶粒%種膜%液相外延%焦綠石相
철전박막%정립%충막%액상외연%초록석상
用液相外廷方法在LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)以及SrTiO3(001)/PZT(001)衬底上制备了PZNT薄膜.结果表明在LaAlO3,(001)村底上获得的PZNT薄膜的晶粒以三维岛状自发形式生长发育,而且薄膜中有大量的焦绿石异相晶粒存在;在MgO(001)和SrTiO3(100)衬底上,晶粒为三维岛状异质外廷生长,薄膜中焦绿石异相几乎消失;在SrTiO3(001)衬底引入(100)取向的PZT种膜后,膜中晶粒生长变为二维生长,获得了完整的PZNT膜,显著改善了外延膜的质量.分析了衬底取向对紧邻层纳米尺寸范围的晶粒形成、薄膜晶粒的发育、克服薄膜中异相形成等的影响.
用液相外廷方法在LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)以及SrTiO3(001)/PZT(001)襯底上製備瞭PZNT薄膜.結果錶明在LaAlO3,(001)村底上穫得的PZNT薄膜的晶粒以三維島狀自髮形式生長髮育,而且薄膜中有大量的焦綠石異相晶粒存在;在MgO(001)和SrTiO3(100)襯底上,晶粒為三維島狀異質外廷生長,薄膜中焦綠石異相幾乎消失;在SrTiO3(001)襯底引入(100)取嚮的PZT種膜後,膜中晶粒生長變為二維生長,穫得瞭完整的PZNT膜,顯著改善瞭外延膜的質量.分析瞭襯底取嚮對緊鄰層納米呎吋範圍的晶粒形成、薄膜晶粒的髮育、剋服薄膜中異相形成等的影響.
용액상외정방법재LaAlO3(001)、MgO(001)、SrTiO3(001)이급SrTiO3(001)/PZT(001)츤저상제비료PZNT박막.결과표명재LaAlO3,(001)촌저상획득적PZNT박막적정립이삼유도상자발형식생장발육,이차박막중유대량적초록석이상정립존재;재MgO(001)화SrTiO3(100)츤저상,정립위삼유도상이질외정생장,박막중초록석이상궤호소실;재SrTiO3(001)츤저인입(100)취향적PZT충막후,막중정립생장변위이유생장,획득료완정적PZNT막,현저개선료외연막적질량.분석료츤저취향대긴린층납미척촌범위적정립형성、박막정립적발육、극복박막중이상형성등적영향.
