天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2008年
3期
30-32
,共3页
亢原彬%DONG Lei%刘思鹏%QIAO Lin%陈宗强%DENG Xiangyun%李德军
亢原彬%DONG Lei%劉思鵬%QIAO Lin%陳宗彊%DENG Xiangyun%李德軍
항원빈%DONG Lei%류사붕%QIAO Lin%진종강%DENG Xiangyun%리덕군
ZrB2/ZrAlN纳米多层膜%射频磁控溅射%Ar/N2流量比例%硬度
ZrB2/ZrAlN納米多層膜%射頻磁控濺射%Ar/N2流量比例%硬度
ZrB2/ZrAlN납미다층막%사빈자공천사%Ar/N2류량비례%경도
选择ZrB2和ZrAlN作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统在80 nm调制周期下,制备了一系列ZrB2/ZrAlN纳米多层膜,用XRD、表面轮廓仪和纳米力学测试系统分析了物相及晶体结构.研究表明:纳米多层膜体系的各项性能随着Ar/N2流量比例的变化而变化,多层膜的纳米硬度值和弹性模量均高于两种个体材料混合相的硬度值,残余应力也得到缓解,合适的N2气分压可以使多层膜体系的机械性能达到最佳.
選擇ZrB2和ZrAlN作為箇體層材料,利用超高真空射頻磁控濺射繫統在80 nm調製週期下,製備瞭一繫列ZrB2/ZrAlN納米多層膜,用XRD、錶麵輪廓儀和納米力學測試繫統分析瞭物相及晶體結構.研究錶明:納米多層膜體繫的各項性能隨著Ar/N2流量比例的變化而變化,多層膜的納米硬度值和彈性模量均高于兩種箇體材料混閤相的硬度值,殘餘應力也得到緩解,閤適的N2氣分壓可以使多層膜體繫的機械性能達到最佳.
선택ZrB2화ZrAlN작위개체층재료,이용초고진공사빈자공천사계통재80 nm조제주기하,제비료일계렬ZrB2/ZrAlN납미다층막,용XRD、표면륜곽의화납미역학측시계통분석료물상급정체결구.연구표명:납미다층막체계적각항성능수착Ar/N2류량비례적변화이변화,다층막적납미경도치화탄성모량균고우량충개체재료혼합상적경도치,잔여응력야득도완해,합괄적N2기분압가이사다층막체계적궤계성능체도최가.
