真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
3期
251-254
,共4页
位朝垒%王世庆%鄢泽林%李建%孙乃峰
位朝壘%王世慶%鄢澤林%李建%孫迺峰
위조루%왕세경%언택림%리건%손내봉
等离子体天线%等离子体密度%能量衰减系数%表面波
等離子體天線%等離子體密度%能量衰減繫數%錶麵波
등리자체천선%등리자체밀도%능량쇠감계수%표면파
根据功率平衡原理,得到了表面波等离子体天线中等离子体柱长度、等离子体密度与馈入功率的关系,导出了表面波等离子体天线中能量衰减系数沿轴向分布.实验测得充气压强为0.5Pa,6Pa和40Pa时等离子体柱长度、馈入功率和等离子体密度,得到能量衰减系数的实验值.结果表明,等离子体柱上z点的能量衰减系数为该点到等离子体柱顶端距离的倒数,实验所测结果与理论符合得很好.该结论对研究表面波等离子体天线的激励和维持十分重要.
根據功率平衡原理,得到瞭錶麵波等離子體天線中等離子體柱長度、等離子體密度與饋入功率的關繫,導齣瞭錶麵波等離子體天線中能量衰減繫數沿軸嚮分佈.實驗測得充氣壓彊為0.5Pa,6Pa和40Pa時等離子體柱長度、饋入功率和等離子體密度,得到能量衰減繫數的實驗值.結果錶明,等離子體柱上z點的能量衰減繫數為該點到等離子體柱頂耑距離的倒數,實驗所測結果與理論符閤得很好.該結論對研究錶麵波等離子體天線的激勵和維持十分重要.
근거공솔평형원리,득도료표면파등리자체천선중등리자체주장도、등리자체밀도여궤입공솔적관계,도출료표면파등리자체천선중능량쇠감계수연축향분포.실험측득충기압강위0.5Pa,6Pa화40Pa시등리자체주장도、궤입공솔화등리자체밀도,득도능량쇠감계수적실험치.결과표명,등리자체주상z점적능량쇠감계수위해점도등리자체주정단거리적도수,실험소측결과여이론부합득흔호.해결론대연구표면파등리자체천선적격려화유지십분중요.
