真空
真空
진공
VACUUM
2010年
3期
44-47
,共4页
田修波%吴忠振%石经纬%李希平%巩春志%杨士勤
田脩波%吳忠振%石經緯%李希平%鞏春誌%楊士勤
전수파%오충진%석경위%리희평%공춘지%양사근
高功率脉冲复合磁控溅射%峰值电流%放电特性
高功率脈遲複閤磁控濺射%峰值電流%放電特性
고공솔맥충복합자공천사%봉치전류%방전특성
高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)由于能够产生较高的离化率而受到人们的重视.为了提高离化率/沉积速率协同效应,基于直流和脉冲耦合叠加技术我们研制了高功率密度复合脉冲磁控溅射电源,并对高功率复合脉冲磁控溅射放电特性进行研究.结果表明脉冲峰值电流随脉冲电压的增加而增加,但随着脉冲宽度的增加而减小.在高功率脉冲期间工件上获得的电流可以增加一个数量级以上,表明磁控离化率得到显著增强.
高功率脈遲磁控濺射技術(HPPMS)由于能夠產生較高的離化率而受到人們的重視.為瞭提高離化率/沉積速率協同效應,基于直流和脈遲耦閤疊加技術我們研製瞭高功率密度複閤脈遲磁控濺射電源,併對高功率複閤脈遲磁控濺射放電特性進行研究.結果錶明脈遲峰值電流隨脈遲電壓的增加而增加,但隨著脈遲寬度的增加而減小.在高功率脈遲期間工件上穫得的電流可以增加一箇數量級以上,錶明磁控離化率得到顯著增彊.
고공솔맥충자공천사기술(HPPMS)유우능구산생교고적리화솔이수도인문적중시.위료제고리화솔/침적속솔협동효응,기우직류화맥충우합첩가기술아문연제료고공솔밀도복합맥충자공천사전원,병대고공솔복합맥충자공천사방전특성진행연구.결과표명맥충봉치전류수맥충전압적증가이증가,단수착맥충관도적증가이감소.재고공솔맥충기간공건상획득적전류가이증가일개수량급이상,표명자공리화솔득도현저증강.
