发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2010年
2期
209-213
,共5页
詹华瀚%黄斌旺%吴雅苹%陈晓航%李书平%康俊勇
詹華瀚%黃斌旺%吳雅蘋%陳曉航%李書平%康俊勇
첨화한%황빈왕%오아평%진효항%리서평%강준용
闪锌矿结构%氧化锌%分子束外延生长%硅(001)
閃鋅礦結構%氧化鋅%分子束外延生長%硅(001)
섬자광결구%양화자%분자속외연생장%규(001)
采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料.实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构.在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等.分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联.
採用分子束外延方法在室溫下于Si(001)錶麵上生長ZnO材料.實驗髮現:樣品為閃鋅礦和六角結構的ZnO混閤多晶薄膜,其錶麵分佈著一繫列具一定取嚮的近似長方形的納米檯柱結構.在不同參數的高溫退火後,這些梯形檯柱將變小,形成梯形納米環,或分解為較小的納米柱及其糰簇結構等.分析錶明:ZnO混閤多晶薄膜的形成,以及錶麵納米檯柱的縯變,與Si(001)襯底、較低溫的生長溫度及熱效應等因素相關聯.
채용분자속외연방법재실온하우Si(001)표면상생장ZnO재료.실험발현:양품위섬자광화륙각결구적ZnO혼합다정박막,기표면분포착일계렬구일정취향적근사장방형적납미태주결구.재불동삼수적고온퇴화후,저사제형태주장변소,형성제형납미배,혹분해위교소적납미주급기단족결구등.분석표명:ZnO혼합다정박막적형성,이급표면납미태주적연변,여Si(001)츤저、교저온적생장온도급열효응등인소상관련.
