稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2004年
3期
519-521
,共3页
马瑾%黄树来%计峰%余旭浒%王玉恒%马洪磊
馬瑾%黃樹來%計峰%餘旭滸%王玉恆%馬洪磊
마근%황수래%계봉%여욱호%왕옥항%마홍뢰
透明导电膜%Zn-Sn-O%射频磁控溅射
透明導電膜%Zn-Sn-O%射頻磁控濺射
투명도전막%Zn-Sn-O%사빈자공천사
采用射频磁控溅射法在7059玻璃衬底上低温制备出Zn-Sn-O透明导电薄膜.制备薄膜为非晶结构,并且具有很好的稳定性,与玻璃衬底具有良好的附着性.薄膜主要是依靠膜中的氧空位导电,薄膜的电阻率强烈地依赖溅射气体中的氧分压.制备薄膜的最低电阻率为2.27×10-3 Ω·cm,在可见光范围内的平均透过率达超过90%.
採用射頻磁控濺射法在7059玻璃襯底上低溫製備齣Zn-Sn-O透明導電薄膜.製備薄膜為非晶結構,併且具有很好的穩定性,與玻璃襯底具有良好的附著性.薄膜主要是依靠膜中的氧空位導電,薄膜的電阻率彊烈地依賴濺射氣體中的氧分壓.製備薄膜的最低電阻率為2.27×10-3 Ω·cm,在可見光範圍內的平均透過率達超過90%.
채용사빈자공천사법재7059파리츤저상저온제비출Zn-Sn-O투명도전박막.제비박막위비정결구,병차구유흔호적은정성,여파리츤저구유량호적부착성.박막주요시의고막중적양공위도전,박막적전조솔강렬지의뢰천사기체중적양분압.제비박막적최저전조솔위2.27×10-3 Ω·cm,재가견광범위내적평균투과솔체초과90%.
