微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
2期
24-27,45
,共5页
李晓娜%张今朝%刘伟%孙红三%韩立
李曉娜%張今朝%劉偉%孫紅三%韓立
리효나%장금조%류위%손홍삼%한립
电子束曝光机%数据格式转换%面向对象的设计%矢量型电子束扫描
電子束曝光機%數據格式轉換%麵嚮對象的設計%矢量型電子束掃描
전자속폭광궤%수거격식전환%면향대상적설계%시량형전자속소묘
提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制.该设计已在电工所的科研项目"纳米级电子束曝光系统"中得到应用,被称之为EDF数据格式.
提齣一種新型的電子束曝光數據格式,引入瞭麵嚮對象的設計和適應于矢量型電子束掃描方式的設計,提高瞭對通用圖形數據格式轉換的精確度和效率,同時更便于對電子束曝光機的曝光控製.該設計已在電工所的科研項目"納米級電子束曝光繫統"中得到應用,被稱之為EDF數據格式.
제출일충신형적전자속폭광수거격식,인입료면향대상적설계화괄응우시량형전자속소묘방식적설계,제고료대통용도형수거격식전환적정학도화효솔,동시경편우대전자속폭광궤적폭광공제.해설계이재전공소적과연항목"납미급전자속폭광계통"중득도응용,피칭지위EDF수거격식.
