中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
14期
1306-1309
,共4页
张峰%杨防祖%郝苇苇%周勇亮
張峰%楊防祖%郝葦葦%週勇亮
장봉%양방조%학위위%주용량
微流控器件%生物微机电系统%制作%电铸%模具
微流控器件%生物微機電繫統%製作%電鑄%模具
미류공기건%생물미궤전계통%제작%전주%모구
提出了一种微流控器件金属镍模具的制作方法.首先应用凸角补偿技术以各向异性湿法腐蚀硅得到呈凹图案的硅基阴模,再在硅基上电铸制作镍阳模.以此阳模为模具经过浇模、键合批量制作PDMS微流控器件.结果表明镍模具的平整度高,其表面算术平均粗糙度为0.725μm.多次复制得到的微流控器件重现性好,一致性高,其沟道的下底宽度、上顶宽度和深度的相对标准偏差(RSD)分别为1.70%、2.29%和5.31%.
提齣瞭一種微流控器件金屬鎳模具的製作方法.首先應用凸角補償技術以各嚮異性濕法腐蝕硅得到呈凹圖案的硅基陰模,再在硅基上電鑄製作鎳暘模.以此暘模為模具經過澆模、鍵閤批量製作PDMS微流控器件.結果錶明鎳模具的平整度高,其錶麵算術平均粗糙度為0.725μm.多次複製得到的微流控器件重現性好,一緻性高,其溝道的下底寬度、上頂寬度和深度的相對標準偏差(RSD)分彆為1.70%、2.29%和5.31%.
제출료일충미류공기건금속얼모구적제작방법.수선응용철각보상기술이각향이성습법부식규득도정요도안적규기음모,재재규기상전주제작얼양모.이차양모위모구경과요모、건합비량제작PDMS미류공기건.결과표명얼모구적평정도고,기표면산술평균조조도위0.725μm.다차복제득도적미류공기건중현성호,일치성고,기구도적하저관도、상정관도화심도적상대표준편차(RSD)분별위1.70%、2.29%화5.31%.
