西北师范大学学报(自然科学版)
西北師範大學學報(自然科學版)
서북사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2008年
5期
30-33
,共4页
魏晋军%马书懿%孙小菁%徐小丽
魏晉軍%馬書懿%孫小菁%徐小麗
위진군%마서의%손소정%서소려
纳米硅薄膜%光致发光%缺陷分布
納米硅薄膜%光緻髮光%缺陷分佈
납미규박막%광치발광%결함분포
采用磁控溅射法制备了纳米硅颗粒镶嵌氧化硅薄膜,测试了其光致发光谱,发现其发光强度不仅是纳米硅晶粒尺寸的函数,而且与纳米硅晶粒和二氧化硅间的比例关系有关.实验证实,钉扎现象是由于存在于纳米硅晶粒与非晶态外部介质界面间的发光中心所致,发光中心在界面处的分布并不均匀.
採用磁控濺射法製備瞭納米硅顆粒鑲嵌氧化硅薄膜,測試瞭其光緻髮光譜,髮現其髮光彊度不僅是納米硅晶粒呎吋的函數,而且與納米硅晶粒和二氧化硅間的比例關繫有關.實驗證實,釘扎現象是由于存在于納米硅晶粒與非晶態外部介質界麵間的髮光中心所緻,髮光中心在界麵處的分佈併不均勻.
채용자공천사법제비료납미규과립양감양화규박막,측시료기광치발광보,발현기발광강도불부시납미규정립척촌적함수,이차여납미규정립화이양화규간적비례관계유관.실험증실,정찰현상시유우존재우납미규정립여비정태외부개질계면간적발광중심소치,발광중심재계면처적분포병불균균.