电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2011年
1期
21-23
,共3页
大角度离子注入机%加/减速%多电荷%束线系统%束能量纯度%二次离子质谱分析仪(SIMS)
大角度離子註入機%加/減速%多電荷%束線繫統%束能量純度%二次離子質譜分析儀(SIMS)
대각도리자주입궤%가/감속%다전하%속선계통%속능량순도%이차리자질보분석의(SIMS)
从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实验,从SIMS的实验数据来验证控制设计的合理性和有效性.
從大角度離子註入機束線繫統設計上的改進齣髮,對加/減速模式和多電荷註入等情況下的束能量純度控製進行瞭闡敘,同時依靠大量的實驗,從SIMS的實驗數據來驗證控製設計的閤理性和有效性.
종대각도리자주입궤속선계통설계상적개진출발,대가/감속모식화다전하주입등정황하적속능량순도공제진행료천서,동시의고대량적실험,종SIMS적실험수거래험증공제설계적합이성화유효성.
