天津科技
天津科技
천진과기
TIANJIN SCIENCE & TECHNOLOGY
2011年
2期
37-38
,共2页
刘玉岭%牛新环%檀柏梅%周建伟%王胜利%王娟
劉玉嶺%牛新環%檀柏梅%週建偉%王勝利%王娟
류옥령%우신배%단백매%주건위%왕성리%왕연
集成电路铜布线%衬底碱性%化学机械平坦化%微电子技术
集成電路銅佈線%襯底堿性%化學機械平坦化%微電子技術
집성전로동포선%츤저감성%화학궤계평탄화%미전자기술
探讨了集成电路铜布线与衬底碱性化学机械平坦化关键技术与材料项目的研发背景,针对理论研究的进展进行综述,指出了项目的创新之处.该项目成果已在中科院微电子所、台湾科技大学及平坦化协会和美国硅谷研发中心(SVTC)与目前国际上以Cabot公司为代表的酸性浆料进行了评估验证,获中国及美国发明专利和近10年的应用基础.
探討瞭集成電路銅佈線與襯底堿性化學機械平坦化關鍵技術與材料項目的研髮揹景,針對理論研究的進展進行綜述,指齣瞭項目的創新之處.該項目成果已在中科院微電子所、檯灣科技大學及平坦化協會和美國硅穀研髮中心(SVTC)與目前國際上以Cabot公司為代錶的痠性漿料進行瞭評估驗證,穫中國及美國髮明專利和近10年的應用基礎.
탐토료집성전로동포선여츤저감성화학궤계평탄화관건기술여재료항목적연발배경,침대이론연구적진전진행종술,지출료항목적창신지처.해항목성과이재중과원미전자소、태만과기대학급평탄화협회화미국규곡연발중심(SVTC)여목전국제상이Cabot공사위대표적산성장료진행료평고험증,획중국급미국발명전리화근10년적응용기출.
