红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2011年
8期
1407-1411
,共5页
何雯瑾%太云见%李玉英%袁俊%史衍丽
何雯瑾%太雲見%李玉英%袁俊%史衍麗
하문근%태운견%리옥영%원준%사연려
热绝缘结构%非制冷%探测器%热释电
熱絕緣結構%非製冷%探測器%熱釋電
열절연결구%비제랭%탐측기%열석전
热释电非制冷红外探测器由于具有可靠性高、成本低、无需制冷等优点,使其得到了广泛应用.在热释电探测器中,热绝缘结构具有红外热转换、机械支撑和热隔离等作用.良好的热绝缘结构是减小探测器热导率和改善其性能的关键.采用半导体光刻技术和牺牲层技术,在硅基底上制备了由牺牲层和Si3N4薄膜组成的微桥结构,该方法使探测器的微桥结构的制备与半导体工艺相兼容,并通过优化工艺参数,提高了微桥结构的机械强度,减小了热导,解决了制备热绝缘结构的关键技术,制备了像元中心距为50 μm、填充因子为40％ ～60％、耐受温度≥500℃的320×240微桥列阵,该结构为制备高性能非制冷焦平面探测器奠定了基础.
熱釋電非製冷紅外探測器由于具有可靠性高、成本低、無需製冷等優點,使其得到瞭廣汎應用.在熱釋電探測器中,熱絕緣結構具有紅外熱轉換、機械支撐和熱隔離等作用.良好的熱絕緣結構是減小探測器熱導率和改善其性能的關鍵.採用半導體光刻技術和犧牲層技術,在硅基底上製備瞭由犧牲層和Si3N4薄膜組成的微橋結構,該方法使探測器的微橋結構的製備與半導體工藝相兼容,併通過優化工藝參數,提高瞭微橋結構的機械彊度,減小瞭熱導,解決瞭製備熱絕緣結構的關鍵技術,製備瞭像元中心距為50 μm、填充因子為40％ ～60％、耐受溫度≥500℃的320×240微橋列陣,該結構為製備高性能非製冷焦平麵探測器奠定瞭基礎.
열석전비제랭홍외탐측기유우구유가고성고、성본저、무수제랭등우점,사기득도료엄범응용.재열석전탐측기중,열절연결구구유홍외열전환、궤계지탱화열격리등작용.량호적열절연결구시감소탐측기열도솔화개선기성능적관건.채용반도체광각기술화희생층기술,재규기저상제비료유희생층화Si3N4박막조성적미교결구,해방법사탐측기적미교결구적제비여반도체공예상겸용,병통과우화공예삼수,제고료미교결구적궤계강도,감소료열도,해결료제비열절연결구적관건기술,제비료상원중심거위50 μm、전충인자위40％ ～60％、내수온도≥500℃적320×240미교렬진,해결구위제비고성능비제랭초평면탐측기전정료기출.
