无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2006年
4期
1011-1017
,共7页
陈祝%张树人%杜善义%杨成韬%郑泽渔%李波%孙明霞
陳祝%張樹人%杜善義%楊成韜%鄭澤漁%李波%孫明霞
진축%장수인%두선의%양성도%정택어%리파%손명하
陶瓷靶%氧化锌薄膜%射频磁控溅射%择优取向
陶瓷靶%氧化鋅薄膜%射頻磁控濺射%擇優取嚮
도자파%양화자박막%사빈자공천사%택우취향
利用固相反应制备了直径为70mm,厚度为10～15mm高质量掺杂Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,实验了不同摩尔浓度的Li+掺杂对靶材性能的影响,确定了最佳Li+掺杂量为2.2mol%,同时通过在不同温度烧结实验、不同成型压力实验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并采用所制备的ZnO-Li2.2%陶瓷靶和RF(射频磁控)技术在Si(100)、玻璃(载玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备出高度c轴(002)择优取向的ZnO薄膜,其绝缘电阻率ρ为4.12×108Ω·cm,达到了声表面波器件(SAW)的使用要求.
利用固相反應製備瞭直徑為70mm,厚度為10～15mm高質量摻雜Li2CO2的ZnO陶瓷靶材,實驗瞭不同摩爾濃度的Li+摻雜對靶材性能的影響,確定瞭最佳Li+摻雜量為2.2mol%,同時通過在不同溫度燒結實驗、不同成型壓力實驗確定瞭ZnO靶材製備的最佳工藝,併採用所製備的ZnO-Li2.2%陶瓷靶和RF(射頻磁控)技術在Si(100)、玻璃(載玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上製備齣高度c軸(002)擇優取嚮的ZnO薄膜,其絕緣電阻率ρ為4.12×108Ω·cm,達到瞭聲錶麵波器件(SAW)的使用要求.
이용고상반응제비료직경위70mm,후도위10～15mm고질량참잡Li2CO2적ZnO도자파재,실험료불동마이농도적Li+참잡대파재성능적영향,학정료최가Li+참잡량위2.2mol%,동시통과재불동온도소결실험、불동성형압력실험학정료ZnO파재제비적최가공예,병채용소제비적ZnO-Li2.2%도자파화RF(사빈자공)기술재Si(100)、파리(재파편)、급Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)기편상제비출고도c축(002)택우취향적ZnO박막,기절연전조솔ρ위4.12×108Ω·cm,체도료성표면파기건(SAW)적사용요구.
