电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2008年
7期
50-54
,共5页
无机非金属材料%sol-gel法%ZAO薄膜%晶面取向
無機非金屬材料%sol-gel法%ZAO薄膜%晶麵取嚮
무궤비금속재료%sol-gel법%ZAO박막%정면취향
分析了溶剂、溶胶稳定剂、溶胶浓度和热处理等工艺因素对sol-gel法制备ZAO薄膜结晶及择优取向生长行为的影响.结果发现上述各因素均需优选.采用乙二醇甲醚做溶剂,乙醇胺为稳定剂,溶胶浓度为0.75 mol/L,干燥温度为80 ℃,预热温度为250 ℃,退火温度为600 ℃,可获得(002)高度取向的高质量ZAO薄膜,最低电阻率为1.93×10-2 Ω·cm,可见光范围内平均透射率超过90%.
分析瞭溶劑、溶膠穩定劑、溶膠濃度和熱處理等工藝因素對sol-gel法製備ZAO薄膜結晶及擇優取嚮生長行為的影響.結果髮現上述各因素均需優選.採用乙二醇甲醚做溶劑,乙醇胺為穩定劑,溶膠濃度為0.75 mol/L,榦燥溫度為80 ℃,預熱溫度為250 ℃,退火溫度為600 ℃,可穫得(002)高度取嚮的高質量ZAO薄膜,最低電阻率為1.93×10-2 Ω·cm,可見光範圍內平均透射率超過90%.
분석료용제、용효은정제、용효농도화열처리등공예인소대sol-gel법제비ZAO박막결정급택우취향생장행위적영향.결과발현상술각인소균수우선.채용을이순갑미주용제,을순알위은정제,용효농도위0.75 mol/L,간조온도위80 ℃,예열온도위250 ℃,퇴화온도위600 ℃,가획득(002)고도취향적고질량ZAO박막,최저전조솔위1.93×10-2 Ω·cm,가견광범위내평균투사솔초과90%.
