材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2008年
4期
399-404
,共6页
林永清%巩春志%魏永强%田修波%杨士勤%关秉羽%于传跃
林永清%鞏春誌%魏永彊%田脩波%楊士勤%關秉羽%于傳躍
림영청%공춘지%위영강%전수파%양사근%관병우%우전약
无机非金属材料%离子镀%矩形靶%脉冲偏压%氮化钛%耐磨性
無機非金屬材料%離子鍍%矩形靶%脈遲偏壓%氮化鈦%耐磨性
무궤비금속재료%리자도%구형파%맥충편압%담화태%내마성
采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I(111)/I(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能.
採用矩形平麵大弧源離子鍍技術在201奧氏體不鏽鋼基體錶麵製備TiN硬質薄膜,研究瞭脈遲偏壓對TiN膜層的錶麵形貌、相結構、硬度和耐磨性能的影響.結果錶明,隨著脈遲偏壓的增大,薄膜中大顆粒的數目先增加後減少,這是大顆粒受到離子拖抴力和電場力雙重作用的結果.存在一箇最佳的脈遲偏壓,使得製備齣的TiN膜層具有較高的I(111)/I(200)比例和較高的耐磨性.脈遲偏壓為-300 V時製備的TiN膜層具有最好的綜閤性能.
채용구형평면대호원리자도기술재201오씨체불수강기체표면제비TiN경질박막,연구료맥충편압대TiN막층적표면형모、상결구、경도화내마성능적영향.결과표명,수착맥충편압적증대,박막중대과립적수목선증가후감소,저시대과립수도리자타예력화전장력쌍중작용적결과.존재일개최가적맥충편압,사득제비출적TiN막층구유교고적I(111)/I(200)비례화교고적내마성.맥충편압위-300 V시제비적TiN막층구유최호적종합성능.
