分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2008年
5期
15-18
,共4页
集成电路%失效分析%红外发光显微镜%激光束诱导电阻率变化测试技术
集成電路%失效分析%紅外髮光顯微鏡%激光束誘導電阻率變化測試技術
집성전로%실효분석%홍외발광현미경%격광속유도전조솔변화측시기술
随着超大规模集成电路的发展,半导体芯片中元器件的特征尺寸越来越小,已经进入了深亚微米时代.近几年新发展起来的红外发光显微镜技术,能利用集成电路(IC)器件中大多数缺陷都呈现微弱红外发光的现象,迅速准确地定位失效点,成为对IC进行失效缺陷定位的有力工具.本文介绍了半导体的发光机理,红外发光显微镜的基本结构、主要部件及技术特点.通过对两个IC失效样品的分析实例,介绍红外发光显微镜及其补充技术--激光束诱导电阻率变化测试技术在IC失效分析中的具体应用.
隨著超大規模集成電路的髮展,半導體芯片中元器件的特徵呎吋越來越小,已經進入瞭深亞微米時代.近幾年新髮展起來的紅外髮光顯微鏡技術,能利用集成電路(IC)器件中大多數缺陷都呈現微弱紅外髮光的現象,迅速準確地定位失效點,成為對IC進行失效缺陷定位的有力工具.本文介紹瞭半導體的髮光機理,紅外髮光顯微鏡的基本結構、主要部件及技術特點.通過對兩箇IC失效樣品的分析實例,介紹紅外髮光顯微鏡及其補充技術--激光束誘導電阻率變化測試技術在IC失效分析中的具體應用.
수착초대규모집성전로적발전,반도체심편중원기건적특정척촌월래월소,이경진입료심아미미시대.근궤년신발전기래적홍외발광현미경기술,능이용집성전로(IC)기건중대다수결함도정현미약홍외발광적현상,신속준학지정위실효점,성위대IC진행실효결함정위적유력공구.본문개소료반도체적발광궤리,홍외발광현미경적기본결구、주요부건급기술특점.통과대량개IC실효양품적분석실례,개소홍외발광현미경급기보충기술--격광속유도전조솔변화측시기술재IC실효분석중적구체응용.
