CAJ | 학술논문

采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果.本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析处理.整个测试过程非常快,可以在ms级的时间内完成.相对于手动测试,基于数据采集系统的Langmuir探针诊断实验得到的数据更为精确,电压测试范围更大.并能去除因为等离子体电位漂移而产生的曲线失真.根据所得的伏安曲线,讨论了等离子体的电子温度,离子密度等参数的计算方法,进一步研究发现电子温度随真空室气压增大而变小,离子密度随气压增大而变大.
채용Langmuir탐침、소묘전원화미궤수거채집계통상결합,실시획득료등리자체적복안특성곡선급삼수계산결과.본수거채집계통시일개허의의기계통,포괄수거채집、분석측시화결과현시삼부분,용래채집Langmuir탐침적전류전압신호,병가이분석처리.정개측시과정비상쾌,가이재ms급적시간내완성.상대우수동측시,기우수거채집계통적Langmuir탐침진단실험득도적수거경위정학,전압측시범위경대.병능거제인위등리자체전위표이이산생적곡선실진.근거소득적복안곡선,토론료등리자체적전자온도,리자밀도등삼수적계산방법,진일보연구발현전자온도수진공실기압증대이변소,리자밀도수기압증대이변대.