纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2008年
6期
430-436
,共7页
刘雳颋%沈连嬉%赵玮%于磊%张峰%田扬超%郑津津
劉靂颋%瀋連嬉%趙瑋%于磊%張峰%田颺超%鄭津津
류력정%침련희%조위%우뢰%장봉%전양초%정진진
紫外光刻%正交实验法%信噪比%改进的Canny算法
紫外光刻%正交實驗法%信譟比%改進的Canny算法
자외광각%정교실험법%신조비%개진적Canny산법
为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系,利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究.引入田口方法关于信噪比统一测度的思想,获得了各加工工艺参数对光刻胶模型加工误差的影响显著度,其中甩胶速度、曝光时间和显影时间为显著因素.对所获得的光刻胶模型电镜图片采用了一种改进的Canny算法,实现了图像边缘提取.进而对加工误差的表征与量化方法进行了研究.获得了10～30μm尺度的方形、直线和圆形图形的尺寸误差、直边直线度和直角圆化误差值.研究表明,图形的尺寸误差和直边直线度误差与图形尺寸之比随图形尺寸变大而变小,直角圆化的圆角半径不大于2μm.
為研究基于紫外光刻加工技術的光刻膠模型形狀誤差與工藝參數的關繫,利用正交實驗法對正性光刻膠AZ9260進行瞭實驗研究.引入田口方法關于信譟比統一測度的思想,穫得瞭各加工工藝參數對光刻膠模型加工誤差的影響顯著度,其中甩膠速度、曝光時間和顯影時間為顯著因素.對所穫得的光刻膠模型電鏡圖片採用瞭一種改進的Canny算法,實現瞭圖像邊緣提取.進而對加工誤差的錶徵與量化方法進行瞭研究.穫得瞭10～30μm呎度的方形、直線和圓形圖形的呎吋誤差、直邊直線度和直角圓化誤差值.研究錶明,圖形的呎吋誤差和直邊直線度誤差與圖形呎吋之比隨圖形呎吋變大而變小,直角圓化的圓角半徑不大于2μm.
위연구기우자외광각가공기술적광각효모형형상오차여공예삼수적관계,이용정교실험법대정성광각효AZ9260진행료실험연구.인입전구방법관우신조비통일측도적사상,획득료각가공공예삼수대광각효모형가공오차적영향현저도,기중솔효속도、폭광시간화현영시간위현저인소.대소획득적광각효모형전경도편채용료일충개진적Canny산법,실현료도상변연제취.진이대가공오차적표정여양화방법진행료연구.획득료10～30μm척도적방형、직선화원형도형적척촌오차、직변직선도화직각원화오차치.연구표명,도형적척촌오차화직변직선도오차여도형척촌지비수도형척촌변대이변소,직각원화적원각반경불대우2μm.
