半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2009年
2期
139-141
,共3页
李晓洁%张海明%胡国锋%李育洁
李曉潔%張海明%鬍國鋒%李育潔
리효길%장해명%호국봉%리육길
AAO模板%溶胶-凝胶%氧化锌%纳米点阵结构
AAO模闆%溶膠-凝膠%氧化鋅%納米點陣結構
AAO모판%용효-응효%양화자%납미점진결구
以Al2O3膜为模板,通过溶胶-凝胶浸渍法,经过干燥、高温加热制备了ZnO纳米点阵结构.SEM结果表明,AAO模板孔遭呈六角形排布,孔道垂直无交叉,孔径为50mm左右,在AAO模板内装入的ZnO为纳米颗粒.XRD结果表明,AAO模板为非晶结构,孔内ZnO具有多晶纤锌矿结构.PL谱结果表明,ZnO/AAO组装体系表现出了很强的紫外发射.
以Al2O3膜為模闆,通過溶膠-凝膠浸漬法,經過榦燥、高溫加熱製備瞭ZnO納米點陣結構.SEM結果錶明,AAO模闆孔遭呈六角形排佈,孔道垂直無交扠,孔徑為50mm左右,在AAO模闆內裝入的ZnO為納米顆粒.XRD結果錶明,AAO模闆為非晶結構,孔內ZnO具有多晶纖鋅礦結構.PL譜結果錶明,ZnO/AAO組裝體繫錶現齣瞭很彊的紫外髮射.
이Al2O3막위모판,통과용효-응효침지법,경과간조、고온가열제비료ZnO납미점진결구.SEM결과표명,AAO모판공조정륙각형배포,공도수직무교차,공경위50mm좌우,재AAO모판내장입적ZnO위납미과립.XRD결과표명,AAO모판위비정결구,공내ZnO구유다정섬자광결구.PL보결과표명,ZnO/AAO조장체계표현출료흔강적자외발사.
