光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2010年
9期
104-109
,共6页
光学检测%非球面反射主镜%立式在位检测%有限元法
光學檢測%非毬麵反射主鏡%立式在位檢測%有限元法
광학검측%비구면반사주경%입식재위검측%유한원법
大型非球面反射主镜的检测,国内通常采用离线的卧式检测.由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素,容易影响检测的可靠性和重复性.国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔.本文针对Φ1.07 m,F/1.5非球面反射主镜在加工中的检测,在有限的加工环境中设计了一套分体式立式在位检测塔,由一个四维工作台调节平面反射镜来转折光路、一个五维工作台调节补偿器和一个五维工作台调节干涉仪以满足测量中自由度的调节需要.用有限元分析软件ANSYS对立式塔进行了应力和应变的设计分析以检验其刚性、重心位置和变形情况,以及避免与工件转台产生共振的模态分析.该检测塔在Φ1.07 m,F/1.5非球面反射主镜加工过程中得以用于检测测量,获得了稳定的干涉图和良好的重复性,工件接近完工时的检测结果为PV=0.3133λ.RMS=0.0243..
大型非毬麵反射主鏡的檢測,國內通常採用離線的臥式檢測.由于氣流、溫度變化以及地基振動等環境因素,容易影響檢測的可靠性和重複性.國外在大型非毬麵反射主鏡的檢測中普遍採用在位或離線的立式檢測塔.本文針對Φ1.07 m,F/1.5非毬麵反射主鏡在加工中的檢測,在有限的加工環境中設計瞭一套分體式立式在位檢測塔,由一箇四維工作檯調節平麵反射鏡來轉摺光路、一箇五維工作檯調節補償器和一箇五維工作檯調節榦涉儀以滿足測量中自由度的調節需要.用有限元分析軟件ANSYS對立式塔進行瞭應力和應變的設計分析以檢驗其剛性、重心位置和變形情況,以及避免與工件轉檯產生共振的模態分析.該檢測塔在Φ1.07 m,F/1.5非毬麵反射主鏡加工過程中得以用于檢測測量,穫得瞭穩定的榦涉圖和良好的重複性,工件接近完工時的檢測結果為PV=0.3133λ.RMS=0.0243..
대형비구면반사주경적검측,국내통상채용리선적와식검측.유우기류、온도변화이급지기진동등배경인소,용역영향검측적가고성화중복성.국외재대형비구면반사주경적검측중보편채용재위혹리선적입식검측탑.본문침대Φ1.07 m,F/1.5비구면반사주경재가공중적검측,재유한적가공배경중설계료일투분체식입식재위검측탑,유일개사유공작태조절평면반사경래전절광로、일개오유공작태조절보상기화일개오유공작태조절간섭의이만족측량중자유도적조절수요.용유한원분석연건ANSYS대입식탑진행료응력화응변적설계분석이검험기강성、중심위치화변형정황,이급피면여공건전태산생공진적모태분석.해검측탑재Φ1.07 m,F/1.5비구면반사주경가공과정중득이용우검측측량,획득료은정적간섭도화량호적중복성,공건접근완공시적검측결과위PV=0.3133λ.RMS=0.0243..
