功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
11期
1963-1965,1969
,共4页
李晓静%张思凯%于盛旺%唐伟忠%吕反修
李曉靜%張思凱%于盛旺%唐偉忠%呂反脩
리효정%장사개%우성왕%당위충%려반수
微波谐振腔%数值模拟%电场分布%金刚石薄膜沉积
微波諧振腔%數值模擬%電場分佈%金剛石薄膜沉積
미파해진강%수치모의%전장분포%금강석박막침적
提出新型微波谐振腔用于化学气相沉积金刚石薄膜,腔体有效体积可以调节,采用环形介质窗口,置于沉积基台的下方,允许产生较大并且温度较高的等离子体.同轴内导体与沉积台相连接,微波从谐振腔底端传输经同轴导体耦合进入腔体.采用有限元的方法优化谐振腔的尺寸,使其能耦合进更大的微波能量,优化后,最大电场区域位于沉积台上方,并且均匀分布,在腔体内其它区域和介质窗口附近电场强度则很小,满足设计要求.采用时域有限差分法模拟了谐振腔在一定微波输入功率下产生等离子体的特性,并对设计的谐振腔进行试验研究,实验观察到的等离子体位置与模拟结果一致.
提齣新型微波諧振腔用于化學氣相沉積金剛石薄膜,腔體有效體積可以調節,採用環形介質窗口,置于沉積基檯的下方,允許產生較大併且溫度較高的等離子體.同軸內導體與沉積檯相連接,微波從諧振腔底耑傳輸經同軸導體耦閤進入腔體.採用有限元的方法優化諧振腔的呎吋,使其能耦閤進更大的微波能量,優化後,最大電場區域位于沉積檯上方,併且均勻分佈,在腔體內其它區域和介質窗口附近電場彊度則很小,滿足設計要求.採用時域有限差分法模擬瞭諧振腔在一定微波輸入功率下產生等離子體的特性,併對設計的諧振腔進行試驗研究,實驗觀察到的等離子體位置與模擬結果一緻.
제출신형미파해진강용우화학기상침적금강석박막,강체유효체적가이조절,채용배형개질창구,치우침적기태적하방,윤허산생교대병차온도교고적등리자체.동축내도체여침적태상련접,미파종해진강저단전수경동축도체우합진입강체.채용유한원적방법우화해진강적척촌,사기능우합진경대적미파능량,우화후,최대전장구역위우침적태상방,병차균균분포,재강체내기타구역화개질창구부근전장강도칙흔소,만족설계요구.채용시역유한차분법모의료해진강재일정미파수입공솔하산생등리자체적특성,병대설계적해진강진행시험연구,실험관찰도적등리자체위치여모의결과일치.
