电气传动
電氣傳動
전기전동
ELECTRIC DRIVE
2011年
3期
58-61
,共4页
多晶硅%控制系统%PLC%组态软件
多晶硅%控製繫統%PLC%組態軟件
다정규%공제계통%PLC%조태연건
根据某多晶硅生产厂热分解工段的工艺流程及控制要求,设计了一套热分解炉控制系统;针对硅烷法生产多晶硅时分解反应需极高安全性,介绍了多晶硅生产的主要设备,分析了系统硬件构成及软件控制流程;提出了将PLC与工业以太网技术相结合,通过组态软件实现上位机监控的系统,并在工艺要求下,实现热分解炉温度PID控制;经试运行及实际生产表明,该系统安全稳定高效,可生产高纯度多晶硅,满足生产需要.
根據某多晶硅生產廠熱分解工段的工藝流程及控製要求,設計瞭一套熱分解爐控製繫統;針對硅烷法生產多晶硅時分解反應需極高安全性,介紹瞭多晶硅生產的主要設備,分析瞭繫統硬件構成及軟件控製流程;提齣瞭將PLC與工業以太網技術相結閤,通過組態軟件實現上位機鑑控的繫統,併在工藝要求下,實現熱分解爐溫度PID控製;經試運行及實際生產錶明,該繫統安全穩定高效,可生產高純度多晶硅,滿足生產需要.
근거모다정규생산엄열분해공단적공예류정급공제요구,설계료일투열분해로공제계통;침대규완법생산다정규시분해반응수겁고안전성,개소료다정규생산적주요설비,분석료계통경건구성급연건공제류정;제출료장PLC여공업이태망기술상결합,통과조태연건실현상위궤감공적계통,병재공예요구하,실현열분해로온도PID공제;경시운행급실제생산표명,해계통안전은정고효,가생산고순도다정규,만족생산수요.
