强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
5期
1281-1284
,共4页
苑永涛%刘红%邵传兵%陈益超%方敬忠
苑永濤%劉紅%邵傳兵%陳益超%方敬忠
원영도%류홍%소전병%진익초%방경충
RB-SiC%射频磁控溅射%表面改性%表面粗糙度
RB-SiC%射頻磁控濺射%錶麵改性%錶麵粗糙度
RB-SiC%사빈자공천사%표면개성%표면조조도
为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜,利用射频磁控溅射方法,在直径70 mm的RB-SiC基片上沉积了厚约100 μm的Si改性涂层,对改性层进行超光滑加工,并对改性层的表面形貌及性能进行了测试.ZYGO表面粗糙度仪测试结果表明,抛光后Si改性涂层表面粗糙度均方根值达到了0.496 nm;X射线衍射仪测试显示,制备Si改性涂层为多晶结构;使用拉力机做附着力测试,结果表明膜基附着力大于10.7 MPa.证明采用磁控溅射技术制备的Si改性涂层均匀、致密、附着力好,能够满足RB-SiC材料表面改性要求.
為瞭穫得高質量光學錶麵的碳化硅反射鏡,利用射頻磁控濺射方法,在直徑70 mm的RB-SiC基片上沉積瞭厚約100 μm的Si改性塗層,對改性層進行超光滑加工,併對改性層的錶麵形貌及性能進行瞭測試.ZYGO錶麵粗糙度儀測試結果錶明,拋光後Si改性塗層錶麵粗糙度均方根值達到瞭0.496 nm;X射線衍射儀測試顯示,製備Si改性塗層為多晶結構;使用拉力機做附著力測試,結果錶明膜基附著力大于10.7 MPa.證明採用磁控濺射技術製備的Si改性塗層均勻、緻密、附著力好,能夠滿足RB-SiC材料錶麵改性要求.
위료획득고질량광학표면적탄화규반사경,이용사빈자공천사방법,재직경70 mm적RB-SiC기편상침적료후약100 μm적Si개성도층,대개성층진행초광활가공,병대개성층적표면형모급성능진행료측시.ZYGO표면조조도의측시결과표명,포광후Si개성도층표면조조도균방근치체도료0.496 nm;X사선연사의측시현시,제비Si개성도층위다정결구;사용랍력궤주부착력측시,결과표명막기부착력대우10.7 MPa.증명채용자공천사기술제비적Si개성도층균균、치밀、부착력호,능구만족RB-SiC재료표면개성요구.
