应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2011年
5期
937-941
,共5页
尚小燕%韩军%李琪%王松
尚小燕%韓軍%李琪%王鬆
상소연%한군%리기%왕송
光谱实时测量%膜层厚度%光谱标定%噪声处理
光譜實時測量%膜層厚度%光譜標定%譟聲處理
광보실시측량%막층후도%광보표정%조성처리
在宽光谱膜厚监控系统中,利用光栅光谱仪分光,线阵CCD接收,完成光谱的一次性快速扫描来控制膜层厚度,达到实时监控的要求.而系统光谱扫描的准确性,直接影响膜厚实时监控的有效性.为了得到准确的光谱信息,首先确定CCD像素和光波波长的对应关系,基于特征谱线的离散关系,采用最小二乘拟合法建立了光谱标定函数,经实验,标定波长均方根误差为0.037 nm;对于CCD实时输出的光谱监控信号,利用小波阈值优化算法抑制信号中的随机噪声,保留了光谱信号的细节成分,峰值误差的最大值为1.0％,峰位误差的最大值为0.3％,满足了监控中光谱分辨率的要求.
在寬光譜膜厚鑑控繫統中,利用光柵光譜儀分光,線陣CCD接收,完成光譜的一次性快速掃描來控製膜層厚度,達到實時鑑控的要求.而繫統光譜掃描的準確性,直接影響膜厚實時鑑控的有效性.為瞭得到準確的光譜信息,首先確定CCD像素和光波波長的對應關繫,基于特徵譜線的離散關繫,採用最小二乘擬閤法建立瞭光譜標定函數,經實驗,標定波長均方根誤差為0.037 nm;對于CCD實時輸齣的光譜鑑控信號,利用小波閾值優化算法抑製信號中的隨機譟聲,保留瞭光譜信號的細節成分,峰值誤差的最大值為1.0％,峰位誤差的最大值為0.3％,滿足瞭鑑控中光譜分辨率的要求.
재관광보막후감공계통중,이용광책광보의분광,선진CCD접수,완성광보적일차성쾌속소묘래공제막층후도,체도실시감공적요구.이계통광보소묘적준학성,직접영향막후실시감공적유효성.위료득도준학적광보신식,수선학정CCD상소화광파파장적대응관계,기우특정보선적리산관계,채용최소이승의합법건립료광보표정함수,경실험,표정파장균방근오차위0.037 nm;대우CCD실시수출적광보감공신호,이용소파역치우화산법억제신호중적수궤조성,보류료광보신호적세절성분,봉치오차적최대치위1.0％,봉위오차적최대치위0.3％,만족료감공중광보분변솔적요구.
