洁净与空调技术
潔淨與空調技術
길정여공조기술
CONTAMINATION CONTROL & AIR-CONDITIONING TECHNOLOGY
2006年
2期
12-17
,共6页
田世爱%于自强%赵树奎%迟宏伟
田世愛%于自彊%趙樹奎%遲宏偉
전세애%우자강%조수규%지굉위
洁净室%气态分子污染物%监测%控制
潔淨室%氣態分子汙染物%鑑測%控製
길정실%기태분자오염물%감측%공제
随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题.文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术.
隨著微電子工業工序複雜性的增加和產品呎吋的不斷縮小,氣態分子汙染物(AMC)對產品的影響成為潔淨室環境控製中重點關註的問題.文章介紹瞭潔淨室中AMC的定義,重點闡述瞭AMC的鑑測技術.
수착미전자공업공서복잡성적증가화산품척촌적불단축소,기태분자오염물(AMC)대산품적영향성위길정실배경공제중중점관주적문제.문장개소료길정실중AMC적정의,중점천술료AMC적감측기술.
