真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
14-19
,共6页
张琦锋%孙晖%潘光虎%张俊艳%刘惟敏%薛增泉%吴锦雷
張琦鋒%孫暉%潘光虎%張俊豔%劉惟敏%薛增泉%吳錦雷
장기봉%손휘%반광호%장준염%류유민%설증천%오금뢰
氧化锌%纳米线%气相制备%VLS生长机制
氧化鋅%納米線%氣相製備%VLS生長機製
양화자%납미선%기상제비%VLS생장궤제
ZnO是一种可用于室温或更高温度下的紫外发光材料,纳米结构的ZnO(如单晶薄膜、纳米粒子膜、纳米线和纳米带等)则更是在紫外激光发射领域显示了独到的优势,被认为是有望构造短波长半导体激光器的理想材料.本文对一维ZnO纳米结构(纳米线、纳米管和纳米带)的真空物理气相沉积制备技术及生长机理进行了初步探讨.
ZnO是一種可用于室溫或更高溫度下的紫外髮光材料,納米結構的ZnO(如單晶薄膜、納米粒子膜、納米線和納米帶等)則更是在紫外激光髮射領域顯示瞭獨到的優勢,被認為是有望構造短波長半導體激光器的理想材料.本文對一維ZnO納米結構(納米線、納米管和納米帶)的真空物理氣相沉積製備技術及生長機理進行瞭初步探討.
ZnO시일충가용우실온혹경고온도하적자외발광재료,납미결구적ZnO(여단정박막、납미입자막、납미선화납미대등)칙경시재자외격광발사영역현시료독도적우세,피인위시유망구조단파장반도체격광기적이상재료.본문대일유ZnO납미결구(납미선、납미관화납미대)적진공물리기상침적제비기술급생장궤리진행료초보탐토.
