应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2007年
2期
121-124
,共4页
易家良%牛丽红%阔晓梅%周军兰
易傢良%牛麗紅%闊曉梅%週軍蘭
역가량%우려홍%활효매%주군란
微通道板%半导体玻璃%电子倍增管
微通道闆%半導體玻璃%電子倍增管
미통도판%반도체파리%전자배증관
介绍了半导体玻璃微通道板的主要性能,并与传统铅硅酸盐玻璃的相关性能进行了比较.阐述了半导体玻璃的研制工艺,研究了利用半导体玻璃材料制备微通道板的工艺途径,开发了靠玻璃本身体电导性质而无需氢还原工艺的微通道板,即半导体玻璃微通道板.研制出孔径为20 μm、外径为12 mm的半导体玻璃微通道板,实验利用紫外光电法测试了微通道板的增益、闪烁噪声和成像性能.结果表明新型微通道板具有明显的电子增益和低的闪烁噪声,并且通道表面稳定;利用磷硅酸盐玻璃材料可以实现体导电微通道板的制备.
介紹瞭半導體玻璃微通道闆的主要性能,併與傳統鉛硅痠鹽玻璃的相關性能進行瞭比較.闡述瞭半導體玻璃的研製工藝,研究瞭利用半導體玻璃材料製備微通道闆的工藝途徑,開髮瞭靠玻璃本身體電導性質而無需氫還原工藝的微通道闆,即半導體玻璃微通道闆.研製齣孔徑為20 μm、外徑為12 mm的半導體玻璃微通道闆,實驗利用紫外光電法測試瞭微通道闆的增益、閃爍譟聲和成像性能.結果錶明新型微通道闆具有明顯的電子增益和低的閃爍譟聲,併且通道錶麵穩定;利用燐硅痠鹽玻璃材料可以實現體導電微通道闆的製備.
개소료반도체파리미통도판적주요성능,병여전통연규산염파리적상관성능진행료비교.천술료반도체파리적연제공예,연구료이용반도체파리재료제비미통도판적공예도경,개발료고파리본신체전도성질이무수경환원공예적미통도판,즉반도체파리미통도판.연제출공경위20 μm、외경위12 mm적반도체파리미통도판,실험이용자외광전법측시료미통도판적증익、섬삭조성화성상성능.결과표명신형미통도판구유명현적전자증익화저적섬삭조성,병차통도표면은정;이용린규산염파리재료가이실현체도전미통도판적제비.
