CAJ | 학술논문

直流电弧等离子喷射化学气相沉积金刚石膜是一种先进的人工合成技术.其成膜面积大,均匀性好,质量高,沉积速率快,产业化前景非常广阔.但在其生产过程中,所需要的气体消耗量很大,生产成本较高,在相当程度上制约了生产规模的进一步扩大.经过分析和实验,发现沉积系统所使用的各类气体中,用量最大、价格最昂贵的氢气和氩气在整个沉积过程的前后并没有发生任何变化.如果措施得当,经回收利用后可以大幅降低生产成本.针对这个问题,我们设计了一种半开放式气体循环沉积系统并已经投入生产应用,与开放式沉积系统相比,其气体消耗量减少了80%,显著降低了金刚石膜的生产成本,所制备的高质量CVD金刚石膜,热导率可达20 W/(cm·K)以上,磨耗比可达40万以上,工业级别CVD金刚石膜,根据产品的不同要求,生产速率可达10～25μm·h-1,自支撑膜厚度为300～3000μm,大大促进了人造金刚石膜的大规模产业化发展.
직류전호등리자분사화학기상침적금강석막시일충선진적인공합성기술.기성막면적대,균균성호,질량고,침적속솔쾌,산업화전경비상엄활.단재기생산과정중,소수요적기체소모량흔대,생산성본교고,재상당정도상제약료생산규모적진일보확대.경과분석화실험,발현침적계통소사용적각류기체중,용량최대、개격최앙귀적경기화아기재정개침적과정적전후병몰유발생임하변화.여과조시득당,경회수이용후가이대폭강저생산성본.침대저개문제,아문설계료일충반개방식기체순배침적계통병이경투입생산응용,여개방식침적계통상비,기기체소모량감소료80%,현저강저료금강석막적생산성본,소제비적고질량CVD금강석막,열도솔가체20 W/(cm·K)이상,마모비가체40만이상,공업급별CVD금강석막,근거산품적불동요구,생산속솔가체10～25μm·h-1,자지탱막후도위300～3000μm,대대촉진료인조금강석막적대규모산업화발전.