电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
5期
1537-1541
,共5页
鲁李乐%赵小林%戴旭涵%刘亮%丁桂甫
魯李樂%趙小林%戴旭涵%劉亮%丁桂甫
로리악%조소림%대욱함%류량%정계보
微机电系统(MEMS)%电磁驱动%分布磁动势
微機電繫統(MEMS)%電磁驅動%分佈磁動勢
미궤전계통(MEMS)%전자구동%분포자동세
介绍了一种MEMS电磁微驱动器.基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型.采用硅微细加工技术和微电铸技术成功地制作出了这种微驱动器,并对器件的性能进行了测试,测试结果表明,该模型能很好地计算驱动器的电磁力.
介紹瞭一種MEMS電磁微驅動器.基于分段磁路的網絡方程法,針對微電磁驅動器所採用的平麵線圈的結構特點,建立瞭平麵線圈微驅動器的非線性磁路模型.實驗結果錶明,攷慮線圈繞組半徑不同而產生的磁動勢分佈效應可以為平麵線圈型微驅動器建立可靠的模型.採用硅微細加工技術和微電鑄技術成功地製作齣瞭這種微驅動器,併對器件的性能進行瞭測試,測試結果錶明,該模型能很好地計算驅動器的電磁力.
개소료일충MEMS전자미구동기.기우분단자로적망락방정법,침대미전자구동기소채용적평면선권적결구특점,건립료평면선권미구동기적비선성자로모형.실험결과표명,고필선권요조반경불동이산생적자동세분포효응가이위평면선권형미구동기건립가고적모형.채용규미세가공기술화미전주기술성공지제작출료저충미구동기,병대기건적성능진행료측시,측시결과표명,해모형능흔호지계산구동기적전자력.
