应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2011年
5期
917-921
,共5页
马世帮%杨红%杨照金%郭羽%康登魁
馬世幫%楊紅%楊照金%郭羽%康登魁
마세방%양홍%양조금%곽우%강등괴
多光轴%CCD%平行性
多光軸%CCD%平行性
다광축%CCD%평행성
比较了目前常用的几种多光轴平行性测试方法.在大口径平行光管法的基础上,结合CCD技术提出了新的光轴平行性校准方法.该方法采用ZYGO干涉仪精确定焦,通过比较目标靶在CCD上共轭像的中心坐标和被测系统激光光斑中心坐标之间的差异,即可计算出红外或者可见光轴与激光轴的平行性误差.分析了该方法中大口径离轴抛物面镜焦面的确定与激光光斑中心定位等问题.讨论了该方法的测量不确定度,得到测量不确定度小于5″.
比較瞭目前常用的幾種多光軸平行性測試方法.在大口徑平行光管法的基礎上,結閤CCD技術提齣瞭新的光軸平行性校準方法.該方法採用ZYGO榦涉儀精確定焦,通過比較目標靶在CCD上共軛像的中心坐標和被測繫統激光光斑中心坐標之間的差異,即可計算齣紅外或者可見光軸與激光軸的平行性誤差.分析瞭該方法中大口徑離軸拋物麵鏡焦麵的確定與激光光斑中心定位等問題.討論瞭該方法的測量不確定度,得到測量不確定度小于5″.
비교료목전상용적궤충다광축평행성측시방법.재대구경평행광관법적기출상,결합CCD기술제출료신적광축평행성교준방법.해방법채용ZYGO간섭의정학정초,통과비교목표파재CCD상공액상적중심좌표화피측계통격광광반중심좌표지간적차이,즉가계산출홍외혹자가견광축여격광축적평행성오차.분석료해방법중대구경리축포물면경초면적학정여격광광반중심정위등문제.토론료해방법적측량불학정도,득도측량불학정도소우5″.
