微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2004年
3期
55-58
,共4页
谢克文%王晓红%姜英琪%刘理天
謝剋文%王曉紅%薑英琪%劉理天
사극문%왕효홍%강영기%류리천
直接甲醇燃料电池%微机电系统(MEMS)%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
直接甲醇燃料電池%微機電繫統(MEMS)%聚二甲基硅氧烷(PDMS)
직접갑순연료전지%미궤전계통(MEMS)%취이갑기규양완(PDMS)
提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的硅基微型直接甲醇燃料电池的制作工艺流程.该微型燃料电池采用KOH体硅腐蚀技术得到流体通道,并溅射金属Pt层作为收集电流的电极.采用PDMS将两块带有微通道的燃料电池硅片与涂有催化剂层的质子交换膜密封粘合.制作得到的微型燃料电池单元的流道有效尺寸为:8.6 mm×8.6 mm.室温常压下,单电池的开路输出电压为0.4 V左右.当输出电压为0.21 V时,达到最大输出功率15.6μW(21.1μW/cm2).
提齣一套基于MEMS加工技術和薄膜澱積技術的硅基微型直接甲醇燃料電池的製作工藝流程.該微型燃料電池採用KOH體硅腐蝕技術得到流體通道,併濺射金屬Pt層作為收集電流的電極.採用PDMS將兩塊帶有微通道的燃料電池硅片與塗有催化劑層的質子交換膜密封粘閤.製作得到的微型燃料電池單元的流道有效呎吋為:8.6 mm×8.6 mm.室溫常壓下,單電池的開路輸齣電壓為0.4 V左右.噹輸齣電壓為0.21 V時,達到最大輸齣功率15.6μW(21.1μW/cm2).
제출일투기우MEMS가공기술화박막정적기술적규기미형직접갑순연료전지적제작공예류정.해미형연료전지채용KOH체규부식기술득도류체통도,병천사금속Pt층작위수집전류적전겁.채용PDMS장량괴대유미통도적연료전지규편여도유최화제층적질자교환막밀봉점합.제작득도적미형연료전지단원적류도유효척촌위:8.6 mm×8.6 mm.실온상압하,단전지적개로수출전압위0.4 V좌우.당수출전압위0.21 V시,체도최대수출공솔15.6μW(21.1μW/cm2).
