贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2005年
4期
49-57
,共9页
金属材料%贵金属%半导体微电子技术
金屬材料%貴金屬%半導體微電子技術
금속재료%귀금속%반도체미전자기술
贵金属具有良好的化学稳定性,高电导率和热导率,特有的电学、磁学、光学等性能,是发展半导体微电子技术必不可少的材料.文章综述了半导体器件欧姆接触、线路和电极、金属化系统、半导体包封,以及化合物半导体、液体金属离子源等用贵金属材料的应用和发展.
貴金屬具有良好的化學穩定性,高電導率和熱導率,特有的電學、磁學、光學等性能,是髮展半導體微電子技術必不可少的材料.文章綜述瞭半導體器件歐姆接觸、線路和電極、金屬化繫統、半導體包封,以及化閤物半導體、液體金屬離子源等用貴金屬材料的應用和髮展.
귀금속구유량호적화학은정성,고전도솔화열도솔,특유적전학、자학、광학등성능,시발전반도체미전자기술필불가소적재료.문장종술료반도체기건구모접촉、선로화전겁、금속화계통、반도체포봉,이급화합물반도체、액체금속리자원등용귀금속재료적응용화발전.
