半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
7期
1448-1453
,共6页
孙东明%董玮%郭文滨%刘彩霞%王国东%徐宝琨%陈维友
孫東明%董瑋%郭文濱%劉綵霞%王國東%徐寶琨%陳維友
손동명%동위%곽문빈%류채하%왕국동%서보곤%진유우
MOEMS%动力学分析%角速度%倾斜下电极
MOEMS%動力學分析%角速度%傾斜下電極
MOEMS%동역학분석%각속도%경사하전겁
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的.
採用靜電力驅動方式的MOEMS光開關,從運動機製上來說,是由靜電力矩、恢複力矩、空氣壓膜阻尼力矩以及重力力矩等條件共同作用的結果.對于微驅動器驅動條件的研究,不能單純地從力矩平衡的角度來分析,應從動力學齣髮,纔能較好地描述其運動過程,得到精確的驅動條件分析結果.本文從MOEMS傾斜下電極扭臂式光開關齣髮,介紹瞭動力學分析方法的過程.通過數值求解方程,得到器件的可動部分的運動速度等方麵的結果,將其在不同驅動條件下的運動狀態描述齣來,從而達到確定光開關靜電驅動條件的目的.
채용정전력구동방식적MOEMS광개관,종운동궤제상래설,시유정전력구、회복력구、공기압막조니력구이급중력력구등조건공동작용적결과.대우미구동기구동조건적연구,불능단순지종력구평형적각도래분석,응종동역학출발,재능교호지묘술기운동과정,득도정학적구동조건분석결과.본문종MOEMS경사하전겁뉴비식광개관출발,개소료동역학분석방법적과정.통과수치구해방정,득도기건적가동부분적운동속도등방면적결과,장기재불동구동조건하적운동상태묘술출래,종이체도학정광개관정전구동조건적목적.
