功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
5期
399-403
,共5页
MEMS%建模%系统仿真%加速度计
MEMS%建模%繫統倣真%加速度計
MEMS%건모%계통방진%가속도계
根据物体相对运动理论,采用能量法表述了建立硅微加速度计功能组件模型的一般方法,并以Verlog-A为模型编码语言实现了硅微加速度计参数化组件模型.利用这些参数化的功能组件模型,在Saber仿真平台上构建了电容式微加速度计系统级模型,并进行了仿真.频域仿真结果表明系统的谐振频率相对于有限元模态分析结果,计算精度相差在3%以内;时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行复杂机电耦合系统时域行为分析,输出电压仿真结果与实测值相差在7.5%以内.
根據物體相對運動理論,採用能量法錶述瞭建立硅微加速度計功能組件模型的一般方法,併以Verlog-A為模型編碼語言實現瞭硅微加速度計參數化組件模型.利用這些參數化的功能組件模型,在Saber倣真平檯上構建瞭電容式微加速度計繫統級模型,併進行瞭倣真.頻域倣真結果錶明繫統的諧振頻率相對于有限元模態分析結果,計算精度相差在3%以內;時域倣真結果錶明使用該繫統級模型能夠快速進行複雜機電耦閤繫統時域行為分析,輸齣電壓倣真結果與實測值相差在7.5%以內.
근거물체상대운동이론,채용능량법표술료건립규미가속도계공능조건모형적일반방법,병이Verlog-A위모형편마어언실현료규미가속도계삼수화조건모형.이용저사삼수화적공능조건모형,재Saber방진평태상구건료전용식미가속도계계통급모형,병진행료방진.빈역방진결과표명계통적해진빈솔상대우유한원모태분석결과,계산정도상차재3%이내;시역방진결과표명사용해계통급모형능구쾌속진행복잡궤전우합계통시역행위분석,수출전압방진결과여실측치상차재7.5%이내.
