二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究
이유광자정체적연평판인쇄기술제작연구
Fabricating 2-D Polymer Photonic Crystals by Soft Lithography Technology
  • 万方数据
    光子学报 광자학보
    ACTA PHOTONICA SINICA
    2009年 1期 54-59 ,共6页

    张飒飒%王青圃%张行愚%连洁%常军%李岚%陈佳琦%王丽%陈瑞曾

    장삽삽%왕청포%장행우%련길%상군%리람%진가기%왕려%진서증

    光子晶体%软平板印刷术%聚合物 光子晶體%軟平闆印刷術%聚閤物
    광자정체%연평판인쇄술%취합물
    分析了软平板印刷技术制作二维光子晶体的特点和方法.利用绝缘PDMS模板,采用软平板印刷技术制造了三角晶系结构的二维聚合物光子晶体,采用同样的技术成功制成尺寸为150～500 nm,纵横比达1.25的高密度二维光子晶体.与其他制作技术相比,平板印刷技术具有大尺寸和易于制作的优点.结果表明,制作获得的微结构有很高的保真度.
    분석료연평판인쇄기술제작이유광자정체적특점화방법.이용절연PDMS모판,채용연평판인쇄기술제조료삼각정계결구적이유취합물광자정체,채용동양적기술성공제성척촌위150～500 nm,종횡비체1.25적고밀도이유광자정체.여기타제작기술상비,평판인쇄기술구유대척촌화역우제작적우점.결과표명,제작획득적미결구유흔고적보진도.
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