红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
4期
607-610
,共4页
范广宇%龚海梅%李言谨%贺香荣%张燕
範廣宇%龔海梅%李言謹%賀香榮%張燕
범엄우%공해매%리언근%하향영%장연
红外焦平面%热应力%可靠性
紅外焦平麵%熱應力%可靠性
홍외초평면%열응력%가고성
红外焦平面器件的可靠性是目前制约焦平面工程化应用的主要因素,而器件在温度循环条件下导致的衬底断裂、In柱脱开等问题又是影响器件可靠性的主要因素.温度循环下的可靠性问题是由器件组成材料的热膨胀系数不同而产生的热应力造成的,为保证器件在温度循环或温度冲击条件下的可靠性,就必须使器件衬底内部和互联In柱所承受的应力在其断裂强度之内,对器件结构进行优化设计是适用于中等规模器件提高温度循环可靠性的主要方法,本文针对这一问题提出了结构设计优化的主要思路,结合某红外焦平面器件,采用有限元软件仿真方法进行了结构优化设计,并通过实验证明了结构设计的正确性和可行性.
紅外焦平麵器件的可靠性是目前製約焦平麵工程化應用的主要因素,而器件在溫度循環條件下導緻的襯底斷裂、In柱脫開等問題又是影響器件可靠性的主要因素.溫度循環下的可靠性問題是由器件組成材料的熱膨脹繫數不同而產生的熱應力造成的,為保證器件在溫度循環或溫度遲擊條件下的可靠性,就必鬚使器件襯底內部和互聯In柱所承受的應力在其斷裂彊度之內,對器件結構進行優化設計是適用于中等規模器件提高溫度循環可靠性的主要方法,本文針對這一問題提齣瞭結構設計優化的主要思路,結閤某紅外焦平麵器件,採用有限元軟件倣真方法進行瞭結構優化設計,併通過實驗證明瞭結構設計的正確性和可行性.
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