传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
2期
185-189
,共5页
陈骄%董培涛%邸荻%吴学忠
陳驕%董培濤%邸荻%吳學忠
진교%동배도%저적%오학충
湿法各向异性腐蚀%(110)硅%TMAH%过硫酸铵%异丙醇
濕法各嚮異性腐蝕%(110)硅%TMAH%過硫痠銨%異丙醇
습법각향이성부식%(110)규%TMAH%과류산안%이병순
研究了TMAH溶液中(110)硅片在不同几何形状掩膜窗口下的各向异性湿法腐蚀行为,探讨了(110)硅在TMAH与不同添加剂(过硫酸铵、异丙醇等)构成的腐蚀系统下的腐蚀特性.利用场发射扫描电子显微镜(SEM)观测(110)硅的腐蚀坑腔结构,利用扫描探针显微镜(SPM)测量(110)硅腐蚀的表面粗糙度.结果表明:(110)硅片腐蚀的坑腔结构与掩膜窗口的大小和腐蚀时间有关;在充分腐蚀的情况下,(110)硅片腐蚀的坑腔结构是由四个与表面垂直的(111)面和另外两个与表面成35.26.夹角的(111)面围成的结构;过硫酸铵和异丙醇能显著改善腐蚀表面质量.
研究瞭TMAH溶液中(110)硅片在不同幾何形狀掩膜窗口下的各嚮異性濕法腐蝕行為,探討瞭(110)硅在TMAH與不同添加劑(過硫痠銨、異丙醇等)構成的腐蝕繫統下的腐蝕特性.利用場髮射掃描電子顯微鏡(SEM)觀測(110)硅的腐蝕坑腔結構,利用掃描探針顯微鏡(SPM)測量(110)硅腐蝕的錶麵粗糙度.結果錶明:(110)硅片腐蝕的坑腔結構與掩膜窗口的大小和腐蝕時間有關;在充分腐蝕的情況下,(110)硅片腐蝕的坑腔結構是由四箇與錶麵垂直的(111)麵和另外兩箇與錶麵成35.26.夾角的(111)麵圍成的結構;過硫痠銨和異丙醇能顯著改善腐蝕錶麵質量.
연구료TMAH용액중(110)규편재불동궤하형상엄막창구하적각향이성습법부식행위,탐토료(110)규재TMAH여불동첨가제(과류산안、이병순등)구성적부식계통하적부식특성.이용장발사소묘전자현미경(SEM)관측(110)규적부식갱강결구,이용소묘탐침현미경(SPM)측량(110)규부식적표면조조도.결과표명:(110)규편부식적갱강결구여엄막창구적대소화부식시간유관;재충분부식적정황하,(110)규편부식적갱강결구시유사개여표면수직적(111)면화령외량개여표면성35.26.협각적(111)면위성적결구;과류산안화이병순능현저개선부식표면질량.
