核电子学与探测技术
覈電子學與探測技術
핵전자학여탐측기술
NUCLEAR ELECTRONICS & DETECTION TECHNOLOGY
2011年
1期
115-119
,共5页
郭红霞%王伟%张凤祁%罗尹虹%张科营%赵雯
郭紅霞%王偉%張鳳祁%囉尹虹%張科營%趙雯
곽홍하%왕위%장봉기%라윤홍%장과영%조문
浅槽隔离%总剂量效应%微剂量效应
淺槽隔離%總劑量效應%微劑量效應
천조격리%총제량효응%미제량효응
随着器件特征尺寸的不断减小,在器件结构和工艺上采取了新的措施.分析了STI(shallow trench isolation)隔离导致器件电离辐射总剂量效应的损伤机理;对不同工艺集成电路的抗总剂量TID(Total Ionizing Dose)能力进行了比较分析;对近来比较关注的重离子引起的微剂量效应进行了介绍;最后对可能替代体硅器件的新型器件总剂量效应能力进行了预估.
隨著器件特徵呎吋的不斷減小,在器件結構和工藝上採取瞭新的措施.分析瞭STI(shallow trench isolation)隔離導緻器件電離輻射總劑量效應的損傷機理;對不同工藝集成電路的抗總劑量TID(Total Ionizing Dose)能力進行瞭比較分析;對近來比較關註的重離子引起的微劑量效應進行瞭介紹;最後對可能替代體硅器件的新型器件總劑量效應能力進行瞭預估.
수착기건특정척촌적불단감소,재기건결구화공예상채취료신적조시.분석료STI(shallow trench isolation)격리도치기건전리복사총제량효응적손상궤리;대불동공예집성전로적항총제량TID(Total Ionizing Dose)능력진행료비교분석;대근래비교관주적중리자인기적미제량효응진행료개소;최후대가능체대체규기건적신형기건총제량효응능력진행료예고.
