红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2012年
2期
387-392
,共6页
姜涛%赵清亮%樊荣伟%董志伟%于欣%李卫波
薑濤%趙清亮%樊榮偉%董誌偉%于訢%李衛波
강도%조청량%번영위%동지위%우흔%리위파
飞秒激光%宽带隙%破坏阈值%微结构
飛秒激光%寬帶隙%破壞閾值%微結構
비초격광%관대극%파배역치%미결구
采用飞秒激光微加工系统对宽带隙陶瓷材料SiC和Al2O3诱导微结构时的去除机理及烧蚀特性进行了研究.应用扫描电子显微镜、粗糙度轮廓仪、光学显微镜和能量色散谱仪等对烧蚀的微观形貌和化学组成进行了评价,得出加工SiC时强烧蚀和轻烧蚀的破坏阈值分别为0.61 J/cm2和0.13 J/cm2.同时获得了加工参数与烧蚀形貌之间的关系,发现材料的去除机理强烈依赖于入射激光的脉冲能量,并对二者的关联机制进行了分析.探讨了表面粗糙度和掺杂在材料中的不同元素对烧蚀结果的影响.从而为在难加工类宽带隙陶瓷材料表面加工高质量的微结构提供了有力的理论依据和技术支持.
採用飛秒激光微加工繫統對寬帶隙陶瓷材料SiC和Al2O3誘導微結構時的去除機理及燒蝕特性進行瞭研究.應用掃描電子顯微鏡、粗糙度輪廓儀、光學顯微鏡和能量色散譜儀等對燒蝕的微觀形貌和化學組成進行瞭評價,得齣加工SiC時彊燒蝕和輕燒蝕的破壞閾值分彆為0.61 J/cm2和0.13 J/cm2.同時穫得瞭加工參數與燒蝕形貌之間的關繫,髮現材料的去除機理彊烈依賴于入射激光的脈遲能量,併對二者的關聯機製進行瞭分析.探討瞭錶麵粗糙度和摻雜在材料中的不同元素對燒蝕結果的影響.從而為在難加工類寬帶隙陶瓷材料錶麵加工高質量的微結構提供瞭有力的理論依據和技術支持.
채용비초격광미가공계통대관대극도자재료SiC화Al2O3유도미결구시적거제궤리급소식특성진행료연구.응용소묘전자현미경、조조도륜곽의、광학현미경화능량색산보의등대소식적미관형모화화학조성진행료평개,득출가공SiC시강소식화경소식적파배역치분별위0.61 J/cm2화0.13 J/cm2.동시획득료가공삼수여소식형모지간적관계,발현재료적거제궤리강렬의뢰우입사격광적맥충능량,병대이자적관련궤제진행료분석.탐토료표면조조도화참잡재재료중적불동원소대소식결과적영향.종이위재난가공류관대극도자재료표면가공고질량적미결구제공료유력적이론의거화기술지지.
