CAJ | 학술논문

万方数据

江西科学 강서과학
JIANGXI SCIENCE
2005年 5期 499-501,510 ,共4页

陈圣%徐润%朱燕艳%方泽波%薛菲%樊永良%蒋最敏

진골%서윤%주연염%방택파%설비%번영량%장최민

Er2O3%高κ%C-V%I-V Er2O3%高κ%C-V%I-V
Er2O3%고κ%C-V%I-V

Er2O3是一种很有希望的高κ材料.在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火.通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究.
Er2O3시일충흔유희망적고κ재료.재양기분하열증발금속이원,제비료Er2O3적박막,수후재양기분하대타진행료퇴화.통과대기C-V급I-V특성적측시,인위해재료적전학특성우수,응해진행진일보적연구.