液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2006年
2期
158-164
,共7页
磁控溅射%ZAO透明导电薄膜%溅射靶材%光电特性
磁控濺射%ZAO透明導電薄膜%濺射靶材%光電特性
자공천사%ZAO투명도전박막%천사파재%광전특성
阐述用磁控溅射技术制备综合性能优良的ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现状和趋势.介绍了透明导电薄膜的基本性能及其存在的问题,进而重点阐述了ZAO薄膜的组织结构、导电机制和透光特性.由于其优良的光电特性(用掺杂Al2O3质量分数达3 %的溅射靶材可制备电阻率达4.7×10-4 Ω·cm、透射率超过90 %的ZAO薄膜)而具有广泛的应用前景.并针对靶材的制备和利用磁控溅射技术制备ZAO透明导电薄膜过程中存在的问题及发展方向进行了分析讨论.
闡述用磁控濺射技術製備綜閤性能優良的ZAO透明導電薄膜及其靶材的髮展現狀和趨勢.介紹瞭透明導電薄膜的基本性能及其存在的問題,進而重點闡述瞭ZAO薄膜的組織結構、導電機製和透光特性.由于其優良的光電特性(用摻雜Al2O3質量分數達3 %的濺射靶材可製備電阻率達4.7×10-4 Ω·cm、透射率超過90 %的ZAO薄膜)而具有廣汎的應用前景.併針對靶材的製備和利用磁控濺射技術製備ZAO透明導電薄膜過程中存在的問題及髮展方嚮進行瞭分析討論.
천술용자공천사기술제비종합성능우량적ZAO투명도전박막급기파재적발전현상화추세.개소료투명도전박막적기본성능급기존재적문제,진이중점천술료ZAO박막적조직결구、도전궤제화투광특성.유우기우량적광전특성(용참잡Al2O3질량분수체3 %적천사파재가제비전조솔체4.7×10-4 Ω·cm、투사솔초과90 %적ZAO박막)이구유엄범적응용전경.병침대파재적제비화이용자공천사기술제비ZAO투명도전박막과정중존재적문제급발전방향진행료분석토론.
