人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
1期
106-109
,共4页
杨锡林%张连翰%邹军%何晓明%宋词%周圣明%杭寅
楊錫林%張連翰%鄒軍%何曉明%宋詞%週聖明%杭寅
양석림%장련한%추군%하효명%송사%주골명%항인
PLD%紫外发射%ZnO薄膜%SrTiO3
PLD%紫外髮射%ZnO薄膜%SrTiO3
PLD%자외발사%ZnO박막%SrTiO3
用脉冲激光淀积法(PLD)在(111)面SrTiO3衬底上外延生长ZnO单晶薄膜.样品分别在衬底温度为350℃、500℃、600℃下外延生长.X射线衍射(XRD)的结果表明,所得的ZnO单晶薄膜结晶性能好,只出现(002)和(004)两个衍射峰,(002)峰的半高宽度(FWHM)为0.23°.在荧光光谱中我们只观察到来源于带边激子跃迁的强UV发射,并且随着生长温度的升高,紫外峰的强度逐渐增强.样品的SEM图像表明所得ZnO薄膜表面平整,晶粒均匀.衬底温度为600℃时,所得到的ZnO薄膜结构完整,晶粒尺寸最大,均匀;而且紫外发射最强.
用脈遲激光澱積法(PLD)在(111)麵SrTiO3襯底上外延生長ZnO單晶薄膜.樣品分彆在襯底溫度為350℃、500℃、600℃下外延生長.X射線衍射(XRD)的結果錶明,所得的ZnO單晶薄膜結晶性能好,隻齣現(002)和(004)兩箇衍射峰,(002)峰的半高寬度(FWHM)為0.23°.在熒光光譜中我們隻觀察到來源于帶邊激子躍遷的彊UV髮射,併且隨著生長溫度的升高,紫外峰的彊度逐漸增彊.樣品的SEM圖像錶明所得ZnO薄膜錶麵平整,晶粒均勻.襯底溫度為600℃時,所得到的ZnO薄膜結構完整,晶粒呎吋最大,均勻;而且紫外髮射最彊.
용맥충격광정적법(PLD)재(111)면SrTiO3츤저상외연생장ZnO단정박막.양품분별재츤저온도위350℃、500℃、600℃하외연생장.X사선연사(XRD)적결과표명,소득적ZnO단정박막결정성능호,지출현(002)화(004)량개연사봉,(002)봉적반고관도(FWHM)위0.23°.재형광광보중아문지관찰도래원우대변격자약천적강UV발사,병차수착생장온도적승고,자외봉적강도축점증강.양품적SEM도상표명소득ZnO박막표면평정,정립균균.츤저온도위600℃시,소득도적ZnO박막결구완정,정립척촌최대,균균;이차자외발사최강.
