传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
284-287
,共4页
沈雪瑾%王旭%戚伟俊%李科委%吴文蕾
瀋雪瑾%王旭%慼偉俊%李科委%吳文蕾
침설근%왕욱%척위준%리과위%오문뢰
微型机电系统%微机械手%V型梁电热致动器%柔性铰链
微型機電繫統%微機械手%V型樑電熱緻動器%柔性鉸鏈
미형궤전계통%미궤계수%V형량전열치동기%유성교련
微机械手是一种典型的微型执行器,是微型机电系统(MEMS)的重要研究内容之一.以基于柔性铰链的电热驱动硅微机械手为研究对象,建立了微夹钳的二次超静定力学模型,导出了钳口处输出位移的解析式,并在此基础上对硅微机械手的性能进行了分析.分析表明,微夹钳的输出位移与柔性铰链切割半径成正比,切割半径越大,输出位移越大;对各加载电压下的微夹钳输出位移,其试验和理论结果的变化趋势一致,即微夹钳输出位移随输入电压的增加基本呈线性增加.
微機械手是一種典型的微型執行器,是微型機電繫統(MEMS)的重要研究內容之一.以基于柔性鉸鏈的電熱驅動硅微機械手為研究對象,建立瞭微夾鉗的二次超靜定力學模型,導齣瞭鉗口處輸齣位移的解析式,併在此基礎上對硅微機械手的性能進行瞭分析.分析錶明,微夾鉗的輸齣位移與柔性鉸鏈切割半徑成正比,切割半徑越大,輸齣位移越大;對各加載電壓下的微夾鉗輸齣位移,其試驗和理論結果的變化趨勢一緻,即微夾鉗輸齣位移隨輸入電壓的增加基本呈線性增加.
미궤계수시일충전형적미형집행기,시미형궤전계통(MEMS)적중요연구내용지일.이기우유성교련적전열구동규미궤계수위연구대상,건립료미협겸적이차초정정역학모형,도출료겸구처수출위이적해석식,병재차기출상대규미궤계수적성능진행료분석.분석표명,미협겸적수출위이여유성교련절할반경성정비,절할반경월대,수출위이월대;대각가재전압하적미협겸수출위이,기시험화이론결과적변화추세일치,즉미협겸수출위이수수입전압적증가기본정선성증가.
