物理学报
物理學報
물이학보
2008年
6期
3600-3606
,共7页
孙吉勇%黄尚廉%张洁%张智海
孫吉勇%黃尚廉%張潔%張智海
손길용%황상렴%장길%장지해
微机电系统%光栅光调制器%介质层充电
微機電繫統%光柵光調製器%介質層充電
미궤전계통%광책광조제기%개질층충전
利用高斯定理分析了二氧化硅层中存在电荷时,光栅光调制器中的空间电场分布,得到了光栅光调制器在介质层存贮电荷影响下的静电力公式.分析了调制器中二氧化硅介质的充电和放电机理,得到了光栅的位移随介质充放电的变化关系.通过分析指出当驱动电压的周期和介质的充放电时间常数相近的时候,介质层中存贮的电荷会使得可动光栅被下拉后发生缓慢的回跳.电压被撤消后,光栅会受到存贮电荷所产生电场的作用而被下拉.当驱动电压的周期远小于介质的充放电时间常数的时候,随着存贮电荷的增加,光栅在有外加电场时被下拉的距离和外加电场为零时被下拉的距离逐渐相等,光调制器输出光的光强变化逐渐减弱,当存贮电荷产生的电场为外加电场的一半时,器件完全失效.通过实验对理论分析的结果进行了验证,实验结果和理论分析一致.文章最后提出了一种消除介质层所存贮的电荷的方法,通过实验证明了这种方法的可行性.
利用高斯定理分析瞭二氧化硅層中存在電荷時,光柵光調製器中的空間電場分佈,得到瞭光柵光調製器在介質層存貯電荷影響下的靜電力公式.分析瞭調製器中二氧化硅介質的充電和放電機理,得到瞭光柵的位移隨介質充放電的變化關繫.通過分析指齣噹驅動電壓的週期和介質的充放電時間常數相近的時候,介質層中存貯的電荷會使得可動光柵被下拉後髮生緩慢的迴跳.電壓被撤消後,光柵會受到存貯電荷所產生電場的作用而被下拉.噹驅動電壓的週期遠小于介質的充放電時間常數的時候,隨著存貯電荷的增加,光柵在有外加電場時被下拉的距離和外加電場為零時被下拉的距離逐漸相等,光調製器輸齣光的光彊變化逐漸減弱,噹存貯電荷產生的電場為外加電場的一半時,器件完全失效.通過實驗對理論分析的結果進行瞭驗證,實驗結果和理論分析一緻.文章最後提齣瞭一種消除介質層所存貯的電荷的方法,通過實驗證明瞭這種方法的可行性.
이용고사정리분석료이양화규층중존재전하시,광책광조제기중적공간전장분포,득도료광책광조제기재개질층존저전하영향하적정전력공식.분석료조제기중이양화규개질적충전화방전궤리,득도료광책적위이수개질충방전적변화관계.통과분석지출당구동전압적주기화개질적충방전시간상수상근적시후,개질층중존저적전하회사득가동광책피하랍후발생완만적회도.전압피철소후,광책회수도존저전하소산생전장적작용이피하랍.당구동전압적주기원소우개질적충방전시간상수적시후,수착존저전하적증가,광책재유외가전장시피하랍적거리화외가전장위령시피하랍적거리축점상등,광조제기수출광적광강변화축점감약,당존저전하산생적전장위외가전장적일반시,기건완전실효.통과실험대이론분석적결과진행료험증,실험결과화이론분석일치.문장최후제출료일충소제개질층소존저적전하적방법,통과실험증명료저충방법적가행성.
