真空
真空
진공
VACUUM
2010年
5期
39-44
,共6页
张茹%胡季帆%韩周祥%赵玛%吴占雷%魏剑英
張茹%鬍季帆%韓週祥%趙瑪%吳佔雷%魏劍英
장여%호계범%한주상%조마%오점뢰%위검영
磁控溅射%薄膜%金属氧化物%气敏
磁控濺射%薄膜%金屬氧化物%氣敏
자공천사%박막%금속양화물%기민
气体传感器的应用越来越广泛,对气敏材料的研究也越来越深入.磁控溅射法是生产气敏薄膜的一种主要方法,本文重点介绍了用磁控溅射法制备的几种金属氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3和NiO等)的气敏性能及其研究进展,对其它薄膜做了简要概述,并提出了目前在气敏薄膜研究中存在的问题.
氣體傳感器的應用越來越廣汎,對氣敏材料的研究也越來越深入.磁控濺射法是生產氣敏薄膜的一種主要方法,本文重點介紹瞭用磁控濺射法製備的幾種金屬氧化物薄膜(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3和NiO等)的氣敏性能及其研究進展,對其它薄膜做瞭簡要概述,併提齣瞭目前在氣敏薄膜研究中存在的問題.
기체전감기적응용월래월엄범,대기민재료적연구야월래월심입.자공천사법시생산기민박막적일충주요방법,본문중점개소료용자공천사법제비적궤충금속양화물박막(SnO2、WO3、ZnO、TiO2、In2O3화NiO등)적기민성능급기연구진전,대기타박막주료간요개술,병제출료목전재기민박막연구중존재적문제.
