清洗世界
清洗世界
청세세계
CHEMICAL CLEANING
2006年
2期
29-33
,共5页
硅片%表面活性剂%微粗糙度%腐蚀%臭氧
硅片%錶麵活性劑%微粗糙度%腐蝕%臭氧
규편%표면활성제%미조조도%부식%취양
通过研究硅片表面颗粒的吸附原理,提出了优先吸附模型,并提出改进SC-1的配方,不仅能去除颗粒,而且能有效去除有机物.介绍一些操作方法更加简单、去除更加彻底以及更加环保的清洗新技术.通过分析微电子技术的发展要求,指出今后硅片清洗工艺的发展趋势.
通過研究硅片錶麵顆粒的吸附原理,提齣瞭優先吸附模型,併提齣改進SC-1的配方,不僅能去除顆粒,而且能有效去除有機物.介紹一些操作方法更加簡單、去除更加徹底以及更加環保的清洗新技術.通過分析微電子技術的髮展要求,指齣今後硅片清洗工藝的髮展趨勢.
통과연구규편표면과립적흡부원리,제출료우선흡부모형,병제출개진SC-1적배방,불부능거제과립,이차능유효거제유궤물.개소일사조작방법경가간단、거제경가철저이급경가배보적청세신기술.통과분석미전자기술적발전요구,지출금후규편청세공예적발전추세.
