光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2007年
3期
619-622
,共4页
杜晓晴%温志渝%向贤毅%龙再川%刘海涛%陈勤
杜曉晴%溫誌渝%嚮賢毅%龍再川%劉海濤%陳勤
두효청%온지투%향현의%룡재천%류해도%진근
红外光谱仪%微系统%微电子机械加工%脉冲红外光源%折叠光路
紅外光譜儀%微繫統%微電子機械加工%脈遲紅外光源%摺疊光路
홍외광보의%미계통%미전자궤계가공%맥충홍외광원%절첩광로
设计了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微小型红外光谱仪.该光谱仪采用灵敏度高且体积小巧的非致冷红外探测器LiTaO3,在光路上直接采用MEMS脉冲红外光源,从而去掉了传统机械斩波器,并通过折叠光路进一步减小光谱仪体积.初步结果显示,所设计的微小型红外光谱仪的方法是可行的,工作波段2 000～5 000 nm,光谱带宽45 nm,可用来分析塑料薄膜、生物液体以及环境大气在内的样品.
設計瞭一種不同于傳統光柵掃描型光譜儀的新型微小型紅外光譜儀.該光譜儀採用靈敏度高且體積小巧的非緻冷紅外探測器LiTaO3,在光路上直接採用MEMS脈遲紅外光源,從而去掉瞭傳統機械斬波器,併通過摺疊光路進一步減小光譜儀體積.初步結果顯示,所設計的微小型紅外光譜儀的方法是可行的,工作波段2 000～5 000 nm,光譜帶寬45 nm,可用來分析塑料薄膜、生物液體以及環境大氣在內的樣品.
설계료일충불동우전통광책소묘형광보의적신형미소형홍외광보의.해광보의채용령민도고차체적소교적비치랭홍외탐측기LiTaO3,재광로상직접채용MEMS맥충홍외광원,종이거도료전통궤계참파기,병통과절첩광로진일보감소광보의체적.초보결과현시,소설계적미소형홍외광보의적방법시가행적,공작파단2 000～5 000 nm,광보대관45 nm,가용래분석소료박막、생물액체이급배경대기재내적양품.
