金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2005年
2期
14-17
,共4页
金刚石薄膜%火焰法%同质外延
金剛石薄膜%火燄法%同質外延
금강석박막%화염법%동질외연
气相合成金刚石膜技术的问世,使制备金刚石电子有源器件成为可能.本文将静高压法合成的大颗粒优质单晶镶嵌在纯铜板中作为基板.以乙炔和氧气为反应气体,将氧气与乙炔的体积比率R(R=O2:C2H2)控制在0.85～1.0区间.采用大气下火焰法进行了金刚石单晶膜的同质外延实验.并通过拉曼散射,扫描电镜、反射高能电子衍射对实验结果进行了检测分析,在(100)面同质外延的金刚石单晶膜上观察到了螺旋生长的现象.
氣相閤成金剛石膜技術的問世,使製備金剛石電子有源器件成為可能.本文將靜高壓法閤成的大顆粒優質單晶鑲嵌在純銅闆中作為基闆.以乙炔和氧氣為反應氣體,將氧氣與乙炔的體積比率R(R=O2:C2H2)控製在0.85～1.0區間.採用大氣下火燄法進行瞭金剛石單晶膜的同質外延實驗.併通過拉曼散射,掃描電鏡、反射高能電子衍射對實驗結果進行瞭檢測分析,在(100)麵同質外延的金剛石單晶膜上觀察到瞭螺鏇生長的現象.
기상합성금강석막기술적문세,사제비금강석전자유원기건성위가능.본문장정고압법합성적대과립우질단정양감재순동판중작위기판.이을결화양기위반응기체,장양기여을결적체적비솔R(R=O2:C2H2)공제재0.85～1.0구간.채용대기하화염법진행료금강석단정막적동질외연실험.병통과랍만산사,소묘전경、반사고능전자연사대실험결과진행료검측분석,재(100)면동질외연적금강석단정막상관찰도료라선생장적현상.
